一家專注于半導體、集成電路、LED老化測試體系、工業主動化測試檢測産品的設計、研發、發賣和供給相幹檢測技術辦事和支撐的科技公司。
品德
精確性和可反復性確保您對測試成果的質量充斥信念。
退後精度
剪切高度的掌握(複位)對剪切運用中分歧性的測試成果相當主要。Nordson DAGE複位體系有助于設置和掌握剪切高度,從而使複位精度到達+/-0.25微米。
成像
一系列功效壯大的攝像頭和光學體系優化加載對象瞄準、主動編程和測試剖析。
渣滓清算站
疾速地從推刀及夾爪中主動消除殘渣
雙顯微鏡裝配
4800焊接強度測試儀的先輩光學器件與顯微鏡的雙減振裝配和可調試視窗相聯合,可供給圖象的穩固性
小尺寸精確定位
矢量微調掌握,供給具有可編程的微動按鈕的小鍵盤操作,精確的步進挪動,以確保地位精度
主動化測試
完整主動化的測試法式可以設置裝備擺設應用直不雅的晶圓映照模塊在選定的或隨機的模具上運轉一組測試。協助用戶從加載到成果,包含:攝像頭的對位,生效形式剖斷和圖形數據展現
先輩的全主動晶圓測試技術
和Plus焊接強度測試儀上應用的現有測試模組也與4800體系相兼容。
亮點:
n 人體工程學設計,抓取手柄簡便,可穩固無虞的挪動
n 可疾速輕松地與單功效測試模組交流
n 取得專利的空氣軸承技術用于剪切力測試
n “暫存地位”掩護測試模塊外面的傳感器
n 傳感器運用窗口
光學體系
4800體系供給了一系列的光學處理計劃:
圖象收集體系
爲生效形式剖析供給高分辯率圖象。內置于體系中,接近測試頭的地位可進步産量,特別實用于主動化測試。
校准攝像頭
內置配有微距變焦鏡頭和臺南照明的高分辯率攝像頭。當與圖象收集體系合營應用時,主動化模板和法式的設置和應用獲得明顯加強。
集成的圖象收集和對位攝像頭
三目攝像頭
借助適合的顯微鏡,可以從遠到近調劑視場,異常合適微不雅定位。與正面對位攝像頭聯合應用時,兩個視圖(前部和正面)有助于完成精確測試頭校准。另外,可使用高功率光學器件來視察20微米以下的超微特點點,以幫助操作員停止剪切力測試校准。
集成校准
正面對位攝像頭異常合適測試微特點。其支撐幫助視點功效,可供給精確、可反復的測試。正面對位攝像頭與測試模塊支架相連,可以供給超穩固、無震撼且連續聚焦測試地位的圖象。
孔徑儀成像體系
孔徑儀可供給高倍縮小圖象,異常合適對象的精確校准。它也能夠完成離線生效形式剖析、測試分級和及時測試記載。
勝利測試翹曲晶圓和薄晶圓
智能邊沿起落托盤具有奇特的設計,邊沿起落撐腳能確保曲折晶圓不會從托盤上滑落。漸進的真空壓力在晶圓上方構成真空。
産品特色包含:
事後調准精確性
經由過程在邊沿處完整支持晶圓來清除橫向挪動。
這確保了每壹個運用的晶圓放置。
內置的十字線攝像頭瞄準目的
該瞄準目的可確保操作員百分之一百確信負載對象相對卡盤的地位。這類校准大大進步了精確性。
集成校准
經由過程內置的驗證和測試模組校精確保成果的精確性和靠得住性。
智能和直不雅的晶圓托盤掌握器
多功效可編程掌握器確保晶圓的靠得住的傳輸。將其無縫集成到Paragon軟件中,可以供給有關真空夾緊壓力的反應,從而避免破壞晶圓。
更主要的是,操作者可以輕松看到真空和藹壓的持續反應信息,是以可以采用辦法避免在緊縮空氣供給中止的情形下破壞晶圓。
生效形式和分級
主動圖象收集體系定位準確的地位以優化圖象質量。擴大的景深選項也會生成主動聚焦的圖象和生效的3D地圖。
典範生效形式
全主動晶圓測試技術
集成晶圓處置
Nordson DAGE4800與晶圓處置體系集成,可確保操作靠得住性和可反復性。
集成晶圓處置體系將Nordson DAGE4800轉化爲一個完整主動化的體系,其應用下一代Paragon™焊接強度測試軟件確保靠得住性和可反復的操作。
直不雅和可設置裝備擺設的界面爲各類樣品設置裝備擺設供給了疾速、輕便的主動化測試法式開辟和履行。一步一步的導遊引誘用戶完成設置進程,知足各類選擇需求。Paragon還供給了同事顯示記載來自多台攝像頭視圖的功效。
CHAD晶圓處置器
Nordson DAGE 4800 Integra是主動晶圓焊接強度測試的處理計劃。全部體系由工場設置裝備擺設並由一台PC掌握。
簡直無需操作員參與測試
該體系完整由Paragon™軟件停止掌握,經由編程後,無需操作員參與便可主動履行測試的壹切部門。
ECS/GEM集成
體系直接銜接到網絡以許可SECS/GEM操作。當與FOUP加載體系聯合應用時,測試、剖析和成果可以完整主動化。
無塵室兼容
可選電扇過濾裝配和前門可參加離子去除裝配,以停止無塵室操作。
主動晶圓改正器
晶圓改正器確保在測試之前可將翹曲的晶圓主動夾緊到真空吸盤上。
電扇過濾器
4800 Integra可裝置電扇過濾器和關閉門。如許可以堅持體系外部的正壓力,並將碎屑排出測試區域。
互鎖選項
可以裝置光幕或互鎖門,以掩護操作者免受測試區域的損害。體系將在光幕或互鎖門被破壞或被翻開時暫就緒前的測試,並在妨礙物清除後從新啓動。
CCD攝像頭監控
可選的CCD攝像頭可以裝置在晶圓處置機上,也能夠裝置在4800 Integra外部。許可對測試進程停止監督和記載。
電扇過濾裝配和關閉門
光幕或互鎖門
主動晶圓改正器
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