 | 型號：Inspect S 廠家：美國FEI | |
| 重要用處 | 在高真空、低真空情況對樣品各類資料的描寫組織視察、金屬資料斷口剖析和生效剖析。 | |
| 機能目標 | 1.加快電壓：200V-30 kV | 2.縮小倍數：7-1,000,000 |
| 3.可在高真空、低真空（270Pa) 下視察樣品 | ||
| 樣品室 | 284mm | |
| 分辯率 | 高真空 - 3.0nm at 30kV (SE) - 4.0nm at 30kV (BSE) - 10.0nm at 3kV (SE | 低真空 - 3.0nm at 30kV (SE) - 12.0nm at 3kV (SE) |
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