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冷場發射掃描電子顯微鏡 檢測辦事中心面向集成電路、電子元器件、半導體、PCBA、LED、汽車電子、新資料等,爲客戶供給包含無損剖析、生效剖析、物感性能測試、微納剖析、靠得住性與壽命評價、工藝制程等在內的技術處理計劃。


冷場發射掃描電子顯微鏡

型號:S4800

廠家:日本Hitachi

重要用處:

該設備重要用于各類樣品的高分辯外面描寫成像視察,點分辯率可達1 nm。同時該設備因為發射束流低並裝備了加速裝配,是以可以較大水平上削減樣品在電子束轟擊下的充電效應,合適于一些不導電樣品和在電子束輻照下異破壞樣品(無機、高份子、生物樣品等)的外面高分辯成像。
重要設置裝備擺設:電子束加速裝配
機能目標:1、二次電子圖象分辯率

≤1.0nm包管(加快電壓15kV WD = 4mm)

≤2.0nm 包管(加快電壓1kV WD = 1.5mm,通俗形式)

≤1.4nm 包管(照耀電壓1kV,WD = 1.5mm,應用加速裝配)

縮小倍率:20~800,000×

2、樣品台

S-4800型

X       0-50 mm

Y       0-50 mm

Z       1.5-30 mm

T       -5°~ + 70°

R      360°

最大樣品尺寸(直徑)       100mm

樣品台掌握        五軸馬達驅動

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